דרישות הגנה על ESD לחדרים נקיים
לא משנה כיצד משתנים תנאי האוויר החיצוניים, חדר הקלימה יכול לשמור על מאפייני הניקיון, הטמפרטורה, הלחות והלחץ כפי שנקבע במקור.
תפקידו העיקרי של החדר הנקי הוא לשלוט על הניקיון, הטמפרטורה והלחות של האטמוספירה שאליהם נמצאים מוצרים (כגון שבבי סיליקון וכו ') במגע, כך שניתן לייצר ולייצר את המוצרים בחלל סביבתי טוב. חלל זה נקרא" חדר נקי"" ;.
על פי תקנים בינלאומיים, רמת החדר הנקי מבוססת בעיקר על מספר החלקיקים למטר מעוקב של אוויר שקוטרו גדול יותר מתקן הסיווג.
יש להגדיר את החדר הנקי בהתאם לדרישות הבאות:
1. רצפה אנטי סטטית: התנגדות נקודה לנקודה< 10e9ω;="" התנגדות="" נקודה=""><>
2. לוח קיר אנטי סטטי: התנגדות נקודה לנקודה< 10e9ω;="" התנגדות="" נקודה=""><>
3. חלון אנטי סטטי: התנגדות נקודה לנקודה< 10e9ω;="" התנגדות="" נקודה=""><>
4. מערכת הארקה אמינה: התנגדות נקודה לנקודה<>
5. מערכת יינון אוויר: קבע את טווח מתח האיזון וזמן הפסקת האנרגיה בהתאם לטכנולוגיית התהליך. המלצה: מתח איזון< ±="">